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扩散炉多点热电偶整段测温的制作方法

【作者/来自】网站管理员 【发表时间】2019-3-9 【点击次数】1

  本实用新型公开了一种用于扩散炉整段测温的扩散炉多点热电偶结构,该结构包括保护套管和一根多孔绝缘芯棒,多孔绝缘芯棒装在保护套管内,多孔绝缘芯棒包括N个测温点,N为正整数,每一个测温点上设置有一对热电偶,不同测温点上设置的热电偶相互独立,热电偶的输出端经卡套接头与接插件相连。

  本实用新型采用该结构具有多个测温点,能够准确检测扩散炉内的整段实际温度,炉温均匀性能得到可靠的保证,避免炉内硅片因扩散温度不一致而导致报废,造成不必要的经济损失。

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